富士金氣體質量流量計T1000系列

具有高精度、快速響應、價格低廉、零漂低等特點。不僅滿足半導體、微電子、玻璃鍍膜、陽能電池等行業，還可以滿足鋼廠、電廠、石化等行業的要求。

規格參數

1.  多氣體多量程（MG/MR）功能

2.  可在客戶端簡單打盾進行氣體種類/流量變更，從10sccm至50slm

3.  高精度：±1%S.P.（100-25%），±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保證范圍15-35℃)

4.  再現性：±0.2% F.S.

5.  強耐腐蝕性

6.  輸入輸出信號:模擬（0-5VDC）/RS-485、Device Net

7.  全量程范圍、響應速度快，≤1sec

8.  密封材質：金屬密封/橡膠密封

9.  閥門種類：NO常開NC常閉型

10. 最大動作壓力：400kPaG(Ar:500kPaG)

11. 耐壓：1MPa

12. 使用溫度：5-50℃

13. 金屬密封外部泄漏率：1 x 10  -11  Pa·m3/sec He

14. 橡膠密封外部泄漏率：1 x 10  -7   Pa·m3/sec He

15. 材質：SS316L不銹鋼

16. 接口方式：1/4vcr金屬面密封連接，卡套連接