等離子法（電離法）是以高反應活性的等離子體與有機分子反應形成無臭分子或電離分解為無害氣體的辦法。占地面積小電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。等離子法只消耗電能就可除臭去毒，維護保養較簡便；但設備設計和質量要求高，投資中等，使用時需避免接觸明火。

  等離子凈化器機理

     1、在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能量等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，最后生成無害產物。

2、物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。